WebJan 31, 2024 · また、触媒層を必要に応じて設けてもよい。例えば、ニッケルはエレクトロマイグレーションを抑制したり、金やスズははんだの濡れ性を確保したり、各外部端子の金属層を各機能に応じて適切に設定することができる。 Webその結果、積層配線の耐エレクトロマイ グレーション信頼性はAl-Si、Al-Si- Cu、Al-SiーPdの順番に高くなることを確認した。積 層配線の耐エレクトロマイグレーション信頼性は、A1合金材料の耐エレクト口マイグレー ション性によって決まることを明らかにした。
KAKEN — Research Projects 2024 Fiscal Year Research-status …
Web電流密度の増加に対応したエレクトロマイグレーション (em)耐性の確保が必須となる。 多くの検討がなされてきているはんだバンプを用い た微細ピッチ接続は、少ないはんだ量での接続形状 の制御や、安定な接続状態を得ることは困難となる。 Webエレクトロマイグレーションは,金属配線に高密度の電流を長時間流すことによって生じる配線金属の原子移動現象である.従来より適用されてきたAI配線では,この現象に関する … east longmeadow baseball
Osaka University Knowledge Archive : OUKA
WebMay 2, 2016 · 配線構造は銅 (Cu)配線にバリアメタルとしてタンタル窒素タンタル (TaNTa)を採用したもの。 バリアメタルの厚みは3nmである。 エレクトロマイグレーションをわざと起こすための電流密度と温度の条件は、電流密度が84MA/平方cm、温度が200℃である。 雑音測定に使用した電流の密度は3MA/平方cmとかなり低い。 実験中 … WebCu配線における実際の測定で観測された不純物原子について Cu粒界への影響を比較 結晶粒を粗大化させることで エレクトロマイグレーションも抑制出来ることが分かってお … Web半導体チップ上のAl配線で起こるエレク トロ/ストレスマイグレーションと区別するために、エレクトロケミカルマイグレーションと呼ばれています(ここでは イオンマイグ … culturally how is water significant